【第一參賽人/留學(xué)人員】陳庚亮
【留學(xué)國家】美國
【技術(shù)領(lǐng)域】高端裝備與新能源汽車
【參賽屆次】第8屆
【所獲獎項】入圍
【項目簡介】
精密制造的加工誤差從過去的微米(10^-6m)進(jìn)入了納米(10^-9m)和亞納米尺度。因此,制造業(yè)對精密測量儀器的需求越來越廣泛,同時誤差要求也越來越高。在現(xiàn)代高端制造業(yè)中,亟需納米級精測的行業(yè)包括顯示面板,半導(dǎo)體芯片,高端機(jī)床,EUV反射鏡以及LED晶圓行業(yè)。與顯示技術(shù)的下游領(lǐng)域包括智能手機(jī)、平板電腦、筆記本電腦、電視、顯示器等,并且未來有可能在汽車電子、工業(yè)控制、電子標(biāo)簽、智慧醫(yī)療等新興領(lǐng)域扮演重要角色。顯示屏作為人機(jī)交互的界面,其市場規(guī)模正在隨著智能手機(jī)等終端設(shè)備數(shù)量的增加而不斷擴(kuò)大,面板需求量和出貨面積逐年攀升。因此MiniLED、MicroLED、OLED產(chǎn)業(yè)的爆發(fā)給中國面板制造行業(yè)提供了巨大的機(jī)會。明銳儀器的宗旨就是發(fā)展工業(yè)級在線納米精測技術(shù),通過納米云臺的獨(dú)創(chuàng)技術(shù)來補(bǔ)償生產(chǎn)線環(huán)境噪音,實(shí)現(xiàn)復(fù)雜形狀和超大尺寸的納米級在線精測,填補(bǔ)國內(nèi)乃至國際上的空白。核心技術(shù)是以原子力探針技術(shù)為基礎(chǔ)的納米測量平臺,結(jié)合各類納米光譜測量,進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)各種物理性能的表征。納米測量包括具有納米尺度分辨力的三維幾何形貌,粗燥度,多層膜厚,以及局域力學(xué),電學(xué)性能等參量。這些參量的實(shí)時監(jiān)控既可以對產(chǎn)線在制造前端和后端進(jìn)行質(zhì)量監(jiān)控,又可對生產(chǎn)工藝進(jìn)行優(yōu)化。從而通過實(shí)時監(jiān)測生產(chǎn)工藝提高產(chǎn)線良率。明銳作為擁有先進(jìn)制造行業(yè)的“卡脖子”核心技術(shù)。公司還將發(fā)展的大尺度復(fù)雜結(jié)構(gòu)的精密測量技術(shù),把關(guān)鍵核心技術(shù)掌握在自己手里。
【展開】
【收起】