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【第一參賽人/留學(xué)人員】基于超聲和等離子的先進(jìn)裝備制造項(xiàng)目
【留學(xué)國(guó)家】英國(guó)
【技術(shù)領(lǐng)域】高端裝備與新能源汽車
【參賽屆次】第9屆
【所獲獎(jiǎng)項(xiàng)】入圍
【項(xiàng)目簡(jiǎn)介】
在半導(dǎo)體和新能源領(lǐng)域，超聲和等離子有著眾多應(yīng)用，例如晶圓的超聲清洗、引線的超聲鍵合、光刻膠的超聲噴涂等，這些應(yīng)用都是基于超聲這一共性技術(shù)，且存在技術(shù)要求高，國(guó)產(chǎn)化率較低的問(wèn)題。本項(xiàng)目基于這一共性技術(shù)，首先推動(dòng)核心部件的國(guó)產(chǎn)化，并在此基礎(chǔ)上推進(jìn)整機(jī)裝備和解決方案研發(fā)，為我國(guó)半導(dǎo)體和新能源的發(fā)展提供專業(yè)服務(wù)。目前，本項(xiàng)目組建了一支擁有國(guó)際背景的專業(yè)研發(fā)團(tuán)隊(duì)，并著重開發(fā)了超聲錫焊、超聲噴涂和大氣等離子設(shè)備，主要用于光電傳感器封裝、器件引腳鍍錫、光刻膠噴涂以及晶圓的等離子清洗等，多款產(chǎn)品屬于國(guó)內(nèi)首款設(shè)備，并已經(jīng)實(shí)現(xiàn)了應(yīng)用突破。
【展開】
【收起】