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晶圓片鍵合機(jī)是通過(guò)化學(xué)和物理作用將兩塊已鏡面拋光的同質(zhì)或異質(zhì)的晶片緊密地結(jié)合起來(lái)，晶片接合后，界面的原子受到外力的作用而產(chǎn)生反應(yīng)形成共價(jià)鍵結(jié)合成一體，并使接合界面達(dá)到特定的鍵合強(qiáng)度。晶圓片鍵合機(jī)可以廣泛地應(yīng)用于MEMS，先進(jìn)封裝，CMOS和其他，其中MEMS市場(chǎng)是最大的消費(fèi)市場(chǎng)，占有35.49%的市場(chǎng)，先進(jìn)封裝為第二大市場(chǎng)，占比30.97%。2019年全球晶圓片鍵合機(jī)行業(yè)市場(chǎng)總收入年達(dá)到116.5百萬(wàn)美元，預(yù)測(cè)2026年有望達(dá)到199.6百萬(wàn)美元，2020到2026年的年均增長(zhǎng)率為7.72%。全球晶圓片鍵合機(jī)市場(chǎng)主要集中在中國(guó)，日本，歐洲和美國(guó)等地區(qū)。其中中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展較快，晶圓片鍵合機(jī)銷(xiāo)量份額最大，2019年占據(jù)全球的30.83%。日本占據(jù)24.36%，而歐洲和美國(guó)分別占有14.56%和9.41%，中國(guó)半導(dǎo)體裝備國(guó)產(chǎn)化率低，任然大量依賴(lài)進(jìn)口。本項(xiàng)目是國(guó)內(nèi)首家生產(chǎn)新型半導(dǎo)體裝備——表面活化室溫晶圓鍵合機(jī)，團(tuán)隊(duì)負(fù)責(zé)人母鳳文為清華大學(xué)碩士、日本東京大學(xué)博士、助理教授，中科院微電子所研究員。表面活化室溫鍵合是國(guó)際最先進(jìn)的新型異質(zhì)集成技術(shù)，在超高真空條件下通過(guò)離子束轟擊表面，去除表面污染和氧化層，獲得高活性的表面，無(wú)需粘結(jié)劑和加熱，在室溫下即可實(shí)現(xiàn)金屬、半導(dǎo)體及介質(zhì)材料間的高強(qiáng)度結(jié)合。該技術(shù)在多個(gè)領(lǐng)域均有著廣泛的應(yīng)用，如傳感器制作，3D集成，先進(jìn)基板制造，顯示面板封裝等。目前，相關(guān)設(shè)備已用于一些應(yīng)用的量產(chǎn)環(huán)節(jié)。公司核心團(tuán)隊(duì)由中科院教授級(jí)專(zhuān)家、國(guó)外知名教授及市場(chǎng)專(zhuān)家組成，掌握核心關(guān)鍵技術(shù)，技術(shù)團(tuán)隊(duì)具有超過(guò)25年的室溫晶圓鍵合、微系統(tǒng)集成及先進(jìn)封裝技術(shù)的研究和開(kāi)發(fā)經(jīng)驗(yàn)；與日本及中國(guó)30多家公司有著深入的產(chǎn)研合作經(jīng)歷，能夠準(zhǔn)確抓住市場(chǎng)需求痛點(diǎn)；核心團(tuán)隊(duì)成員掌握有核心關(guān)鍵技術(shù)，有美國(guó)專(zhuān)利30項(xiàng)、日本專(zhuān)利43項(xiàng)、中國(guó)專(zhuān)利6項(xiàng)，且相關(guān)設(shè)備在日本已有量產(chǎn)經(jīng)驗(yàn)。 【展開(kāi)】 【收起】