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【第一參賽人/留學(xué)人員】劉冬梅
【留學(xué)國家】英國
【技術(shù)領(lǐng)域】高端裝備與新能源汽車
【參賽屆次】第6屆
【所獲獎項(xiàng)】入圍
【項(xiàng)目簡介】
半導(dǎo)體高端潔凈機(jī)器人及自動化系統(tǒng)設(shè)備被廣泛運(yùn)用在集成電路的多個(gè)領(lǐng)域，實(shí)現(xiàn)晶圓、LED、太陽能電池等的搬運(yùn)、傳輸和校準(zhǔn)，可應(yīng)用在刻蝕機(jī)、CVD（化學(xué)氣相沉積）、PVD（物理氣相沉積）和CMP（化學(xué)機(jī)械拋光）等整機(jī)設(shè)備形成配套。目前國內(nèi)針對8寸、12寸晶圓的半導(dǎo)體設(shè)備供給不足，國產(chǎn)設(shè)備占有率不足15%，主要依賴國外進(jìn)口設(shè)備。半導(dǎo)體潔凈機(jī)器人及晶圓裝卸載設(shè)備的國產(chǎn)化將填補(bǔ)國內(nèi)半導(dǎo)體行業(yè)關(guān)鍵設(shè)備空白，徹底打破國外的技術(shù)封鎖。本項(xiàng)目采用了晶圓掃描系統(tǒng)、掃描算法、末端執(zhí)行器、控制器等技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品的高精度，綜合重復(fù)定位精度達(dá)到±0.1mm；高可靠性，具有極強(qiáng)的傳片穩(wěn)定性；高潔凈度，搭配FFU系統(tǒng)，能夠達(dá)到行業(yè)高水平Class 1的標(biāo)準(zhǔn)。目前已申請專利30項(xiàng)，包含發(fā)明專利7項(xiàng)、軟著2項(xiàng)。本項(xiàng)目已從研發(fā)階段過渡到產(chǎn)品市場開拓階段，具備量產(chǎn)條件，近三年產(chǎn)品出貨量數(shù)量累計(jì)達(dá)1000，其中入選北京市新技術(shù)新產(chǎn)品7項(xiàng)，入選中關(guān)村首臺（套）重大技術(shù)裝備試驗(yàn)、示范項(xiàng)目2項(xiàng)、“晶圓搬運(yùn)機(jī)械手” 入選北京市智能制造關(guān)鍵技術(shù)裝備供應(yīng)商推薦目錄（2018），“半導(dǎo)體裝載平臺Loadport”入選北京市優(yōu)秀人才培養(yǎng)資助項(xiàng)目。
【展開】
【收起】